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（1）將鉬粉和鈮粉（純度均為≥99 .95%，粒徑分別為20μm和50μm）按照重量比為9 .5:1的比例裝入球磨機中，然后加入聚乙烯醇和氧化鋯磨球（粒徑2 .5mm），在氬氣保護下進行球磨，所述的球磨時間為90min，球磨轉(zhuǎn)速為1100r/min，過篩，分離得到粒徑為10μm鉬鈮合金復(fù)合粉末；所述聚乙烯醇、氧化鋯磨球的重量分別為鉬粉和鈮粉總重量的0 .04倍、18倍；
（2）將鉬鈮合金復(fù)合粉末抽真空處理，接著進行冷等靜壓成型，冷等靜壓的壓力為160MPa，保壓時間為6min，得到壓制毛坯；
（3）將壓制毛坯在真空燒結(jié)爐中進行燒結(jié)成型，燒結(jié)溫度為1900℃，燒結(jié)時間9 h，得到靶材毛坯；
（4）將靶材毛坯經(jīng)過機械加工得到產(chǎn)品鉬鈮合金濺射靶材，鉬鈮合金濺射靶材為單一物相組織，組織均勻無孔洞（參見圖6），平均晶粒尺寸50μm，密度9 .86g/cm3。